Газ лазерлерінің маңызды ерекшеліктерінің бірі лазерлік ортаның газдар қоспасы немесе жалғыз таза газ болып табылады. Сондықтан лазерлік қоспа газының құрамдас бөліктерінің тазалығына арнайы талаптар қойылады және қоспа газының ластануына жол бермеу үшін қоспа газын орау үшін қолданылатын болат цилиндрлерді де толтыру алдында кептіру керек. Егер гелий-неонды лазер газ лазерлерінің бірінші буыны деп есептелсе, көмірқышқыл газы газ лазерлерінің екінші буыны болса, жартылай өткізгіш өндірісте кеңінен қолданылатын KrF лазерін лазерлердің үшінші буыны деп атауға болады.
