Электрондық аралас газдар кең ауқымды интегралдық схемаларда (LSI), ультра үлкен масштабты интегралды схемаларда (VLSI) және жартылай өткізгіш құрылғылар өндірісінде кеңінен қолданылады. Олар негізінен газ фазасының эпитаксиясында (өндірісінде), химиялық буларды тұндыруда, легирлеуде (қоспалардың диффузиясында), әртүрлі офорттау және иондарды имплантациялау процестерінде қолданылады.
Электрондық аралас газдың қысқаша мазмұны жоқ
1. Дихлоросилан (DCS) 5000ppm+N2; Дихлоросилан (DCS) 15ppm+N2
2 дихлоросилан (DCS) 10 ppm+ трихлорсилан (TCS) 10ppm+ гелий
3 HCI 50ppm+дихлоросилан (DCS) 1000ppm+теңдік He
4 Силан 1%+Дихлоросилан (DCS) 1%+Трихлоросилан (TCS) 1%+Тетрахлорсилан 1%+Азот
5 Силан 50 ppm+Трихлоросилан (TCS) 1000ppm+He
6 Трихлоросилан (TCS) 15ppm+N2
7 Этилсилан (Si2H4) 100ppm~200ppm+H2
8 Этилсилан 10ppm+He
9 CO2 5ppm+силан 135ppm+этилсилан 1000ppm+He
10 SiH4 5ppm~15%+Ar (H2/N2/He)
11 H2 5ppm+Ar 5ppm+N2 5ppm+CO 5ppm+CH4 5ppm+Тепе-теңдік He of CO2 5ppm+silane 1000ppm
12 Этилборан 50-100ppm+H2
13 Arsenane 100ppm~0,7%+H2
14 германан 1%~10%+Н2
15 Бор үшхлориді 1%~5%+N2 (He)
16 PH3 0,8ppm~500ppm+He (H2)
17 HCI 9ppm~50%+N2
18 NF3 99,99% 180g~1500g
19 NF3 20ppm~30ppm+Ауа
20 NF3 15 бет/мин+N2
21 CF4 80%+O2
22 Ar 5ppm~80%+Ne (H2/He/N2)
DKK 23 8%~50%+жыл
24 No 80%~97%+Ar
