әсері
Электрондық газдар тобында силан, фосфан, боран және арсан кеңінен қолданылады және IC өндірісі үшін өте маңызды шикізат болып табылады. Фосфоан жартылай өткізгіш құрылғыларды өндірудегі маңызды N-типті қоспалау көзі болып табылады және ол сонымен қатар полисилиций химиялық буының тұндыру, эпитаксиалды GaP материалдары, иондық имплантация, MOCVD процесі және фосфор кремний шынысында (PSG) пассивті пленкаларды дайындау сияқты процестерде қолданылады.
PH3, жанғыш, жарылғыш, өте улы, уыттылық деңгейлері PEL/TLV 0,3ppm, STEL 1ppm, LC50 20ppm, IDLH 200ppm, өте уытты қауіпті зат.
Төтенше жағдайды жою және жою
1, ағып кету кезінде төтенше жағдайға жауап беру
Персоналды ластанған аумақтан желге қарсы жылдам эвакуациялаңыз және кіруге және шығуға қатаң шектеулер қоя отырып, оларды дереу 450 метрге оқшаулаңыз. Өрт көзін кесіңіз. Төтенше жағдайлар персоналына оң қысымы бар дербес респираторлар мен қорғаныс киімдерін кию ұсынылады. Мүмкіндігінше ағып кету көзін кесіңіз. Ақылға қонымды желдету және жылдамдатылған диффузия. Бүріккіш сумен сұйылтыңыз және ерітіңіз. Шығарылатын ағынды сулардың көп мөлшерін сақтау үшін жағалаулар жасаңыз немесе шұңқырларды қазыңыз. Мүмкін болса, ағып кеткен газды ашық жерге жеткізу үшін сору желдеткішін пайдаланыңыз немесе оны өртеп жіберу үшін тиісті саптаманы орнатыңыз. Ағып кеткен контейнерлерді қолданар алдында дұрыс өңдеу, жөндеу және тексеру қажет.
2, қорғаныс шаралары
Тыныс алу мүшелерін қорғау: Қалыпты жұмыс жағдайында сүзгіден өткен противогазды (бетке толық маска) киіңіз. Жоғары концентрациялы орталарда ауа респираторын немесе оттегі респираторын кию қажет. Төтенше жағдайда құтқару немесе эвакуациялау кезінде ауа респираторын кию ұсынылады.
Көзді қорғау: химиялық қорғаныс көзілдірігін киіңіз.
Денені қорғау: Маска стиліндегі жабысқақ газ курткасын киіңіз.
Қолды қорғау: резеңке қолғап киіңіз.
Басқа: жұмыс орнында темекі шегуге, тамақ ішуге және ішуге қатаң тыйым салынады. Жұмыстан кейін душ қабылдап, киім ауыстырыңыз. Жақсы гигиеналық әдеттерді сақтаңыз. Резервуарларға, шектеулі кеңістіктерге немесе жұмыс үшін басқа да жоғары шоғырлану аймақтарына кіру біреудің бақылауында болуы керек.
3, Алғашқы көмек көрсету шаралары
Ингаляция: оқиға орнынан таза ауасы бар жерге тез шығарыңыз. Тыныс алу жолдарының өткізгіштігін сақтау. Тыныс алу қиын болса, оттегін беріңіз. Тыныс алу тоқтаса, дереу жасанды тыныс алуды жасаңыз. Медициналық көмекке жүгініңіз.
Өрт сөндіру әдісі: Өрт сөндірушілер фильтрлі противогаздарды (толық бетперделер) немесе оқшаулағыш типті респираторларды киюі, толық денені өртке қарсы және газдан қорғайтын киімді киюі және өртті желге қарсы сөндіруі керек. Ауа көзін кесіңіз. Егер газ көзін дереу өшіру мүмкін болмаса, жанып тұрған газды сөндіруге жол берілмейді. Контейнерді салқындату үшін суды шашыратып, мүмкіндігінше контейнерді оттан ашық жерге жылжытыңыз. Сөндіргіш зат: бүріккіш су, көбік, құрғақ ұнтақ, көмірқышқыл газы.
